SMC常閉型高真空電磁閥,JA15-5-080
常閉型高真空電磁閥XSA系列
zui低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
泄漏量：內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。
有2種接頭和內(nèi)螺紋可選。
消耗功率：zui多削減25％。
質(zhì)量：zui多減小18％　0.5kg→0.41kg。

型號JA15-5-080 重新配置
描述 JA 系列 浮動接頭/標(biāo)準(zhǔn)型
減輕被驅(qū)動氣缸的「偏心」、「平行精度不足」
故不需要?dú)飧缀瓦B接件*對中
安裝形式 - 基本型 
適合缸徑 15 10, 15 
螺紋稱呼 5-080 M5X0.8 
閥與針閥一體化，配管空間為原來的1/4。
密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產(chǎn)生。
初始供氣、主給気可同時進(jìn)行流量調(diào)節(jié)。
在半導(dǎo)體裝置等中、適合用作負(fù)載鎖定室和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥。
閥形式：常閉（加壓開?彈簧密封）
使用流體：氮?dú)?、空氣、惰性氣體等
SMC常閉型高真空電磁閥,JA15-5-080
CM2B25-50Z-XB6
CM2B25-50Z-XB7
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CM2B25-55Z
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CM2B25-600
CM2B25-600A
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CM2B25V-180A
CM2B25V-180AZ